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科技日報記者 付毅飛

記者6月29日從中國電子科技集團獲悉，該集團旗下中電科電子裝備集團有限公司（以下簡稱“電科裝備”）已實現離子注入裝備28納米工藝制程全覆蓋，有力保障我國集成電路制造行業在成熟制程領域的產業安全。

研發人員正在調試離子注入機。中國電科供圖

據悉，離子注入機是芯片制造中的關鍵裝備，28納米則是當前芯片應用領域中覆蓋面最廣的成熟制程。

電科裝備連續突破光路、控制、軟件等關鍵模塊的核心技術，形成中束流、大束流、高能及第三代半導體等全系列離子注入機產品格局，實現了28納米工藝制程全覆蓋，切實保障中國“芯”的生產制造。

據了解，作為國內最早從事離子注入設備研制及產業化的企業，電科裝備已具備從產品設計到量產應用的完整研制體系，產品涵蓋邏輯、存儲、功率器件、傳感器等工藝器件，百臺設備廣泛應用于國內各大集成電路先進產線，累計流片量超2000萬片，有力提升我國產業鏈供應鏈韌性和安全水平。